1. Шаңды бөлшектерді шаңсыз тазартатын бөлмеде шығарады
Таза бөлменің негізгі функциясы - бұл өнімнің тазалығын, температурасы мен ылғалдылығын (мысалы, кремний чиптері және т.б.) бақылау, сондықтан өнімдер өндіріліп, жақсы ортада өндірілуі мүмкін. Біз бұл кеңістікті таза бөлме деп атаймыз. Халықаралық тәжірибеге сәйкес, тазалық деңгейі негізінен, диаметрі жіктеу стандартынан үлкен, текше метрге бөлшектердің санымен анықталады. Басқаша айтқанда, шаңсыз деп аталатындар 100% шаңсыз, бірақ өте аз мөлшерде басқарылады. Әрине, осы стандарттағы шаңдық стандартқа сәйкес келетін бөлшектер қазірдің өзінде өте аз, бірақ оптикалық құрылымдар үшін өте аз, бірақ аздап шаң да үлкен жағымсыз әсер етеді, сондықтан шаңсыз - бұл сөзсіз талап Оптикалық құрылымды өндіруде.
Бөлшектердің өлшемі бар шаң бөлшектерінің санын бақылау, бір текше метрден үлкен немесе оған тең немесе тең немесе оған тең немесе тең немесе одан кем, 3520 / текше метрге дейін, халықаралық шаңнан аулақ болады. Чиптегі өндірісінде және өңдеуде қолданылатын шаңсыз стандарт шаңға A санатына қарағанда жоғары талаптарға ие, ал мұндай жоғары стандарт негізінен жоғары деңгейдегі чиптер өндірісінде қолданылады. Шаң бөлшектерінің саны қатаң түрде, текше метр үшін 35,200-де бақыланады, бұл текше бөлімдердегі В класы ретінде белгілі.
2. Таза бөлмеде үш түрі бар
Бос тазалау бөлмесі: салынған және пайдалануға болатын таза бөлме қондырғысы. Оның барлық тиісті қызметтері мен функциялары бар. Алайда, объектіде операторлар жұмыс істемейді.
Статикалық таза бөлме: толық функциялары, дұрыс орнатылған және орнатылған, оларды параметрлерге сәйкес қолдануға немесе пайдалануға болатын таза бөлмеде, бірақ объектіде операторлар жоқ.
Динамикалық таза бөлме: қалыпты пайдаланудағы таза бөлме, толық қызмет, жабдықтар мен персонал; Қажет болса, қалыпты жұмысты орындауға болады.
3. Басқару элементтері
(1). Ауада жүзетін шаң бөлшектерін алып тастай алады.
(2). Шаң бөлшектерін ұрпаққа кедергі келтіруі мүмкін.
(3). Температура мен ылғалдылықты бақылау.
(4). Қысымды реттеу.
(5). Зиянды газдарды жою.
(6). Құрылымдар мен бөлімдердің ауа тығыздығы.
(7). Статикалық электр энергиясының алдын алу.
(8). Электромагниттік кедергілердің алдын алу.
(9). Қауіпсіздік факторларын қарау.
(10). Энергияны үнемдеуді қарастыру.
4. Жіктеу
Турбулентті ағын түрі
Ауа таза бөлмеде ауа жиналып, ауа түңірлерінен және таза бөлмедегі ауа сүзгісінен (HEPA) (HEPA) (HEPA), бөлменің екі жағынан немесе едендерден таза бөлменің екі жағынан қайтарылады. Ауа ағыны сызықтық түрде қозғалмайды, бірақ тұрақты емес турбулентті немесе едлы күйді ұсынады. Бұл түрі 1000-100 000-нан үшін жарамды.
Анықтама: ауа ағыны ауа ағыны тегіс емес жылдамдықпен ағып, параллель емес, кері ағып кетеді, кері ағып кетеді.
Принцип: Турбулентті таза бөлмелер ауа өткізгіштік ауа ағынына сүйеніп, жабық ауаны үнемі сұйылтып, ластанған ауаны тазалыққа дейін сұйылтылған ауаны сұйылтылған ауаны біртіндеп сұйылтылған ауаны (турбуленттік таза бөлмелерден 1000-нан 300 000-нан жоғары) мөлшерде шығарады.
Ерекшеліктері: Турбулентті таза бөлмелер тазалық пен тазалық деңгейге жету үшін бірнеше желдетуге сүйенеді. Желдетудің саны өзгереді, анықтамадағы тазарту деңгейін анықтайды (желдетудің неғұрлым көп өзгеруі, неғұрлым тазалық деңгейі жоғары)
. 20 минуттан (есептеу үшін 15 минут ішінде 15 минут пайдаланылуы мүмкін) 30 000-нан аспайды деп күтілуде (есептеу үшін 25 минут қолданыла алады) есептеу)
(2) Желдету жиілігі (жоғарыда ұстамдылығы жоғары) Сынып / сағаты / 43,5-55.3 есе, стандарт: стандартты: 50 рет / сағат) Сынып / сағаты / сағаты / сағаты (Стандартты: Стандартты: 25 рет / сағ ) 100 000-сынып: сағатына 14,4-19,2 рет (стандартты: 15 рет / сағ)
Артықшылықтары: Қарапайым құрылым, жүйенің төмен құны, таза бөлмені кеңейту оңай, таза бөлмені кеңейтуге болады, кейбір арнайы мақсаттағы жерлерде, таза бөлме сыныбын жақсарту үшін шаңсыз таза орындық қолдануға болады.
Кемшіліктері: жабық кеңістіктегі турбуленттілікке байланысты шаң бөлшектері және төсеніштерден туындаған және төгілуі қиын, бұл технологиялық өнімдерді оңай ластауы мүмкін. Сонымен қатар, егер жүйе тоқтап, содан кейін іске қосылса, қажетті тазалыққа жету үшін жиі уақыт кетеді.
Ламинар ағыны
Ламинар ағынының ауа біркелкі түзу сызығында қозғалады. Ауа бөлмеге 100% қамту мөлшерлемесі бар сүзгі арқылы кіреді және екі жағынан екі жағынан да, екі жағынан қайтарылады. Бұл түрі таза бөлме орталарында, таза бөлмеден жоғары, әдетте, 1 ~ 100-де қолдануға жарамды. Екі түрі бар:
(1) Көлденең ламинар ағыны: көлденең ауа сүзгіден бір бағытта жарылып, қарама-қарсы қабырғадағы ауа жүйесімен қайтарылады. Шаң ауа бағыты бар ашық ауада шығарылады. Жалпы, ластану төменгі жағынан да байсалды.
Артықшылықтары: Қарапайым құрылым, егер жұмыс істегеннен кейін қысқа уақыт ішінде тұрақты бола алады.
Кемшіліктері: құрылыс құны турбулентті ағынға қарағанда жоғары, ал жабық кеңістікті кеңейту оңай емес.
(2) Тік ламинар ағыны: бөлме төбесі толығымен ULPA сүзгілерімен жабылған, ал ауа жоғарыдан төменге дейін шығады, бұл жоғары тазалыққа қол жеткізе алады. Процесс барысында немесе қызметкерлермен жасалған шаң басқа жұмыс орындарына әсер етпестен тез зарядталуы мүмкін.
Артықшылықтары: оңай басқаруға, тұрақты күйге операция басталғаннан кейін қысқа мерзім ішінде қол жеткізуге болады және оператор немесе операторлар оңай әсер етпейді.
Кемшіліктері: Құрыңның жоғары құны, кеңістікті икемді пайдалану қиын, төбелік ілгіштер көп орын алады және сүзгілерді жөндеу және ауыстыру қиын.
Композиттік түрі
Композиттік түрі - бұл жергілікті ультра таза ауаны бере алатын турбулентті ағын және ламинар ағынының түрін біріктіру немесе пайдалану.
(1) Таза туннель: Процесс аймағының 100% немесе жұмыс аймағының 100% немесе жұмыс аймағының 100% -ын 10-сыныпқа жеткізу үшін, бұл орнату және пайдалану шығындарын үнемдеу үшін 100% жабыңыз.
Бұл түрі машиналық жөндеу кезінде жұмыс пен сапаға әсер ету үшін өнім мен машинадан оқшауланған оператордың жұмыс аймағынан талап етеді.
Туынды туннельдерде тағы екі артықшылығы бар: A. икемді кеңейту оңай; B. Жабдықтарды техникалық қызмет көрсетуге техникалық қызмет көрсету аймағында оңай орындауға болады.
(2) Таза түтік: өнімнің ағып кетуі және тазалық деңгейін 100-сыныпқа дейін арттыратын автоматты өндірістік желіні тазартады және тазартады. Себебі өнім, оператор және шаңды құрайтын орта бір-бірінен оқшауланған, аз мөлшерде Ауа жеткізілімі жақсы тазалыққа қол жеткізе алады, ол энергияны үнемдей алады және қол еңбегін қажет етпейтін автоматтандырылған өндірістік желілер үшін ең қолайлы. Ол фармацевтикалық, азық-түлік және жартылай өткізгіш салаларына қолданылады.
(3) Таза дақ: Тәркі бөлменің тазалығы аймағындағы өнім процесі аймағының тазалық деңгейі 10 000 ~ 100 000 дрендімен тазалық деңгейі өндірістік мақсаттар үшін 10 ~ 1000 немесе одан жоғарыға дейін ұлғайтылды; Таза жұмыс дақтарын, таза сарайларды, құрастырылған таза бөлмелерді және таза шкафтар осы санатқа жатады.
Таза орындық: 1 ~ 100 сынып.
Таза стенд: Турбулентті таза пластикалық шүберекпен, турбулентті мөлдір пластикалық шүберекпен, тәуелсіз HEPA немесе ULPA және ауаны кондиционерлермен және ауа баптау қондырғыларымен, 10 ~ 1000, биіктігі 10 ~ 1000, биіктігі 2,5 метр, және шамамен 10 м2 немесе одан аз уақыт. Оның төрт тірегі бар және икемді пайдалану үшін жылжымалы доңғалақтармен жабдықталған.
5. Ауа ағынының ағуы
Ауа ағынының маңыздылығы
Таза бөлменің тазалығын ауа ағынына жиі әсер етеді. Басқаша айтқанда, адамдар, машина бөлімдері, құрылыс құрылымдары және т.б. көтеретін шаңның қозғалысы мен диффузиясы және т.б. ауа ағынымен басқарылады.
Таза бөлмеде ауаны сүзгілеу үшін HEPA және ULPA қолданады, ал оның шаң жиналуы 99,97 ~ 99,99995% құрайды, сондықтан осы сүзгіден алынған ауаны өте таза деп айтуға болады. Алайда, адамдардан басқа, таза бөлмедегі машиналар сияқты шаң көздері де бар. Бұл құрылған шаңдар таралғаннан кейін, таза кеңістікті сақтау мүмкін емес, сондықтан ауа ағынын құрылған шаңды ашық ауада тарату үшін пайдалану керек.
Әсер ету факторлары
Таза бөлменің ауа ағынына, мысалы, технологиялық жабдықтар, персонал, таза бөлме құрастыру материалдары, жарықтандыру құрылғылары және т.б. әсер етеді. Сонымен қатар, өндірістік жабдықтардың үстінен ауа ағынының диверсиялық нүктесін де қабылдау керек Қарау.
Жалпы жұмыс кестесінің немесе өндірістік жабдықтың бетіндегі ауа ағынының бұрылу нүктесінде таза бөлме кеңістігі мен бөлім алқасының арасындағы қашықтықтың 2/3 болуы керек. Осылайша, оператор жұмыс істеп тұрған кезде, ауа ағыны технологиялық аймақтың ішкі жағынан жұмыс аймағына және шаңды алып тастай алады; Егер диверсиялық нүкте процесс аймағының алдында конфигурацияланған болса, ол ауа ағынының дұрыс еместігі болады. Қазіргі уақытта ауа ағынының көп бөлігі технологиялық аймақтың артына ағып кетеді, ал оператордың жұмысынан туындаған шаң жабдықтардың артына жеткізіледі, ал жұмыс дорбасы ластанған, ал шығымдылық сөзсіз төмендейді.
Таза бөлмелердегі жұмыс үстелдері сияқты кедергілерде түйіспеде EDDY ағындары болады, ал олардың жанында тазалық сәл нашар болады. Жұмыс үстеліндегі қайтарылатын ауа саңылауын бұрғылау Eddy ағымдағы құбылысты азайтады; Құрастыру материалдарын таңдау сәйкес келе ме, жабдықтың орналасуы жетілдіріле ме, жоқ па, ауа ағыны Eddy Phenomence бола ма, сонай маңызды.
6. Таза бөлменің құрамы
Таза бөлменің құрамы келесі жүйелерден тұрады (олардың ешқайсысы жүйелік молекулаларда жоқ), әйтпесе сапалы және сапалы таза бөлме құруға болмайды:
(1) Төбенің жүйесі: төбе өзегі, i-сәуле немесе у-сәуле, төбелік тор немесе төбелік жақтау.
(2) Кондиционерлік жүйесі: әуе кабинасын, сүзгі жүйесін, жел диірменін және т.б.
(3) Бөлшек қабырға: терезелер мен есіктерді қоса алғанда.
(4) Еден: екінші қабат немесе антистатикалық қабат.
(5) Жарықтандыру құрылғылары: жарықдиодты тазарту жалпақ шам.
Таза бөлменің негізгі құрамы, әдетте, болат шыбықтардан немесе сүйек цементінен жасалған, бірақ қандай құрылымға қарамастан, ол келесі шарттарға сәйкес келуі керек:
A. Температураның өзгеруі мен тербелістеріне байланысты ешқандай жарықшалар болмайды;
B. Шаң бөлшектерін шығару оңай емес, ал бөлшектерді бекіту қиын;
C. төмен гигроскопиялық;
D. Таза бөлмедегі ылғалдылық жағдайын сақтау үшін жылу оқшаулауы жоғары болуы керек;
7. Пайдалану арқылы жіктеу
Өнеркәсіптік таза бөлме
Интансыз бөлшектердің бақылауы - объект. Ол негізінен ауа шаңының бөлшектерін жұмыс объектісіне ластануды басқарады, ал ішкі істер оң қысым күйін сақтайды. Дәлдік техниканың, электроника өнеркәсібіне, электронистерге (жартылай өткізгіштер, интегралды схемалар және т.б.), аэроғарыштан, жоғары тазалық индустриясы, атомдық энергетика, оптикалық және магниттік өнім өнеркәсібі (CD, фильм, таспа өндірісі) СКД (сұйық кристалл) Шыны), компьютердегі қатты диск, компьютер басының өндірісі және басқа да салалар.
Биологиялық таза бөлме
Негізінен тірі бөлшектердің (бактериялар) және жансыз бөлшектердің (шаңды) ластануын жұмыс объектісіне ластайды. Оны бөлуге болады;
A. Жалпы биологиялық таза бөлме: негізінен микробтық (бактериалды) объектілердің ластануын бақылайды. Сонымен бірге, оның ішкі материалдары әр түрлі стерильденген агенттердің эрозиясына төтеп беруі керек, ал ішкі істер, әдетте, оң қысымға кепілдік береді. Ішкі материалдар өндірістік таза бөлменің әр түрлі зарарсыздандыру процедураларына төтеп бере алады. Мысалдар: фармацевтика, ауруханалар (операциялық бөлмелер, стерильді палаталар), тамақ, косметика, сусындар өндірісі, мал шаруашылығы, жануарлар зертханалары, физикалық және химиялық сынақ зертханалары, қан станциялары және т.б.
B. Биологиялық қауіпсіздік Таза бөлме: негізінен, жұмыс істейтін объектінің тірі бөлшектерінің сыртқы әлемге және адамдарға ластануын бақылайды. Ішкі қысым атмосферамен жағымсыз болуы керек. Мысалдар: бактериология, биология, таза зертханалар, физикалық инженерия (рекомбинантты гендер, вакцинаны дайындау)
POST TIME: Feb-07-2025