1. Дизайн сипаттамалары
Чип өнімдерін функционализациялау, миниатюризациялау, интеграциялау және дәлдік талаптарына байланысты, өндіріс пен өндіріске арналған чипті таза бөлменің жобалау талаптары жалпы зауыттардың талаптарынан айтарлықтай ерекшеленеді.
(1) Тазалық талаптары: Чип өндірісі ортасында ауа бөлшектерінің санына жоғары бақылау талаптары бар;
(2) Ауа өткізбейтіндік талаптары: Ауа ағып кетуінің немесе ластануының әсерін азайту үшін құрылымдық саңылауларды азайтып, саңылау құрылымдарының ауа өткізбейтіндігін күшейту;
(3) Зауыт жүйесінің талаптары: Арнайы қуат және электромеханикалық жүйелер технологиялық машиналардың қажеттіліктерін қанағаттандырады, мысалы, арнайы газдар, химиялық заттар, таза ағынды сулар және т.б.;
(4) Микродірілге қарсы талаптар: Чипті өңдеу жоғары дәлдікті талап етеді, ал дірілдің жабдыққа әсерін азайту қажет;
(5) Кеңістік талаптары: Зауыттың жоспары қарапайым, айқын функционалдық бөлімдері, жасырын құбырлары және кеңістікті ақылға қонымды бөлуі бар, бұл өндірістік процестер мен жабдықтарды жаңарту кезінде икемділікті қамтамасыз етеді.
2. Құрылысқа баса назар аудару
(1). Құрылыс кезеңін қысқарту. Мур заңына сәйкес, чипті интеграциялау тығыздығы орта есеппен әр 18-24 ай сайын екі есе артады. Электрондық өнімдердің жаңартылуы мен қайталануымен өндіріс қондырғыларына деген сұраныс та жаңартылады. Электрондық өнімдердің жылдам жаңартылуына байланысты электрондық таза қондырғылардың нақты қызмет ету мерзімі небәрі 10-15 жылды құрайды.
(2). Ресурстарды ұйымдастыруға қойылатын талаптардың жоғарылауы. Электронды таза бөлме құрылыс көлемінің көптігіне, құрылыс кезеңінің тығыздығына, процестердің тығыз араласуына, ресурстардың айналымының қиындығына және негізгі материалды тұтынудың шоғырлануына байланысты. Ресурстарды ұйымдастырудың мұндай тығыздығы жалпы жоспарды басқаруға жоғары қысым жасауға және ресурстарды ұйымдастыруға қойылатын жоғары талаптарға әкеледі. Іргетас пен негізгі кезеңде бұл негізінен еңбек, болат арматуралар, бетон, қаңқа материалдары, көтергіш машиналар және т.б. салаларда көрініс табады; электромеханикалық, безендіру және жабдықты орнату кезеңінде бұл негізінен құрылыс машиналарына, арнайы жабдықтарға арналған әртүрлі құбырлар мен қосалқы материалдарға қойылатын талаптарда көрініс табады.
(3). Құрылыс сапасына қойылатын жоғары талаптар негізінен тегістік, ауа өткізбейтіндік және шаңның аз болуы сияқты үш аспектіде көрініс табады. Дәл жабдықты қоршаған ортаның зақымдануынан, сыртқы дірілден және қоршаған ортаның резонансынан қорғаумен қатар, жабдықтың өзінің тұрақтылығы да маңызды. Сондықтан еденнің тегістік талабы 2 мм/2 м құрайды. Ауа өткізбейтіндігіне көз жеткізу әртүрлі таза аймақтар арасындағы қысым айырмашылығын сақтауда және осылайша ластану көздерін бақылауда маңызды рөл атқарады. Ауаны сүзу және баптау жабдықтарын орнатпас бұрын таза бөлмені тазалауды қатаң бақылау және құрылысқа дайындық кезінде және орнатқаннан кейін құрылыс кезінде шаңға бейім байланыстарды бақылау.
(4) Қосалқы мердігерлікті басқару және үйлестіруге қойылатын жоғары талаптар. Электронды таза бөлмені салу процесі күрделі, жоғары мамандандырылған, көптеген арнайы қосалқы мердігерлерді қамтиды және әртүрлі салалар арасындағы кең ауқымды өзара әрекеттесуге ие. Сондықтан әрбір саланың процестері мен жұмыс беттерін үйлестіру, өзара әрекеттесуді азайту, салалар арасындағы интерфейсті берудің нақты қажеттіліктерін түсіну және бас мердігерді үйлестіру мен басқаруда жақсы жұмыс істеу қажет.
Жарияланған уақыты: 2025 жылғы 22 қыркүйек