1. Дизайн сипаттамалары
Чип өнімдерін функционализациялау, миниатюризациялау, біріктіру және дәлдік талаптарына байланысты өндіруге және өндіруге арналған чипті тазарту бөлмесінің дизайн талаптары жалпы зауыттардан айтарлықтай ерекшеленеді.
(1) Тазалық талаптары: чиптерді өндіру ортасының ауа бөлшектерінің санына жоғары бақылау талаптары бар;
(2) Герметикалық талаптар: Ауаның ағуы немесе ластануының әсерін барынша азайту үшін құрылымдық саңылауларды азайту және саңылау құрылымдарының герметикалығын күшейту;
(3) Зауыттық жүйе талаптары: Арнайы қуат және электромеханикалық жүйелер арнайы газдар, химиялық заттар, таза ағынды сулар және т.б. сияқты технологиялық машиналар қажеттіліктерін қанағаттандырады;
(4) Микро-дірілге қарсы талаптар: Чиптерді өңдеу жоғары дәлдікті талап етеді және дірілдің жабдыққа әсерін азайту қажет;
(5) Кеңістік талаптары: Зауыттың еден жоспары қарапайым, нақты функционалдық бөлімшелері, жасырын құбырлары және орынды бөлуі бар, бұл өндірістік процестер мен жабдықты жаңарту кезінде икемділікке мүмкіндік береді.
2. Құрылыс фокусы
(1). Қатты құрылыс кезеңі. Мур заңына сәйкес чиптің интеграция тығыздығы орта есеппен 18-24 ай сайын екі есе артады. Электрондық өнімдерді жаңарту және итерациялау арқылы өндіріс орындарының сұранысы да жаңартылады. Электрондық өнімдердің жылдам жаңартылуына байланысты электронды таза қондырғылардың нақты қызмет ету мерзімі небәрі 10-15 жыл.
(2). Ресурстарды ұйымдастыруға қойылатын жоғары талаптар. Электрондық таза бөлме әдетте құрылыс көлемі бойынша үлкен, құрылыстың тығыз мерзімі, тығыз араласатын процестер, күрделі ресурстар айналымы және негізгі материалды тұтынудың шоғырлануы. Мұндай тығыз ресурстарды ұйымдастыру жалпы жоспарды басқаруға жоғары қысым мен ресурстарды ұйымдастыру талаптарының жоғары болуына әкеледі. Іргетас пен негізгі кезеңде ол негізінен еңбек, болат шыбықтар, бетон, қаңқалық материалдар, көтергіш машиналар және т.б.; Электр механикалық, безендіру және жабдықты орнату кезеңінде ол негізінен алаң талаптарында, құрылыс машиналарына арналған әртүрлі құбырлар мен қосалқы материалдарда, арнайы жабдықтарда және т.б.
(3). Құрылыс сапасына қойылатын жоғары талаптар негізінен тегістік, герметикалық және шаңды аз құрылыстың үш аспектісінде көрінеді. Дәл жабдықты қоршаған ортаның зақымдануынан, сыртқы тербелістерден және қоршаған орта резонанстарынан қорғаумен қатар, жабдықтың тұрақтылығы да бірдей маңызды. Сондықтан еденнің тегістігіне қойылатын талап 2мм/2м. Ауа өткізбейтіндігін қамтамасыз ету әртүрлі таза аумақтар арасындағы қысым айырмашылығын сақтауда және осылайша ластану көздерін бақылауда маңызды рөл атқарады. Ауаны фильтрлеу және кондиционерлеу жабдығын орнатпас бұрын таза бөлмені тазалауды қатаң бақылаңыз және құрылысты дайындау және орнатудан кейін құрылыс кезінде шаңға бейім буындарды бақылаңыз.
(4) Қосалқы мердігерлік басқару мен үйлестіруге қойылатын жоғары талаптар. Электрондық таза бөлменің құрылыс процесі күрделі, жоғары мамандандырылған, көптеген арнайы қосалқы мердігерлерді тартады және әртүрлі пәндер арасындағы кең ауқымды кросс-операцияға ие. Сондықтан әр пәннің процестері мен жұмыс беттерін үйлестіру, өзара әрекетті азайту, пәндер арасындағы интерфейсті берудің нақты қажеттіліктерін түсіну және бас мердігерді үйлестіру мен басқаруда жақсы жұмыс істеу керек.
Жіберу уақыты: 22 қыркүйек 2025 ж