Қоршаған ортаны қорғауға, әсіресе ауа райының тұмандылығының артуына байланысты көбірек көңіл бөлінуде. Таза бөлме инженериясы қоршаған ортаны қорғау шараларының бірі болып табылады. Қоршаған ортаны қорғауда жақсы жұмыс істеу үшін таза бөлме инженериясын қалай пайдалануға болады? Таза бөлме инженериясындағы бақылау туралы сөйлесейік.
Таза бөлмедегі температура мен ылғалдылықты бақылау
Таза кеңістіктердің температурасы мен ылғалдылығы негізінен технологиялық талаптар негізінде анықталады, бірақ технологиялық талаптарды қанағаттандыру кезінде адамның жайлылығын ескеру қажет. Ауа тазалығына қойылатын талаптардың жақсаруымен процесте температура мен ылғалдылыққа қатаң талаптар қою үрдісі байқалады.
Жалпы қағида ретінде өңдеу дәлдігінің жоғарылауына байланысты температураның ауытқу диапазонына қойылатын талаптар азайып барады. Мысалы, кең ауқымды интегралды микросхемалар өндірісінің литографиясы мен экспозициялық процесінде маска материалдары ретінде пайдаланылатын шыны және кремний пластиналары арасындағы термиялық кеңею коэффициентінің айырмашылығы барған сайын азайып барады.
Диаметрі 100 мкм кремний пластинасы температура 1 градусқа көтерілгенде 0,24 мкм сызықтық кеңеюді тудырады. Сондықтан ± 0,1 ℃ тұрақты температура қажет, ал ылғалдылық мәні әдетте төмен, өйткені терлеуден кейін өнім ластанған болады, әсіресе натрийден қорқатын жартылай өткізгіш цехтарда. Бұл шеберхана түрі 25℃ аспауы керек.
Шамадан тыс ылғалдылық көбірек проблемаларды тудырады. Салыстырмалы ылғалдылық 55% асқанда салқындатқыш су құбырының қабырғасында конденсация пайда болады. Егер ол дәл құрылғыларда немесе тізбектерде орын алса, ол әртүрлі апаттарды тудыруы мүмкін. Салыстырмалы ылғалдылық 50% болғанда, тот басуға оңай. Сонымен қатар, ылғалдылық тым жоғары болған кезде кремний пластинкасының бетіне жабысқан шаң ауадағы су молекулалары арқылы бетіне химиялық жолмен адсорбцияланады, оны жою қиын.
Салыстырмалы ылғалдылық неғұрлым жоғары болса, адгезияны жою қиынырақ болады. Бірақ салыстырмалы ылғалдылық 30%-дан төмен болғанда электростатикалық күштің әсерінен бөлшектер де бетіне оңай адсорбцияланады, ал жартылай өткізгіш құрылғылардың көп саны бұзылуға бейім. Кремний пластинасын өндіру үшін оңтайлы температура диапазоны 35-45% құрайды.
Ауа қысымыбақылаутаза бөлмеде
Көптеген таза кеңістіктер үшін сыртқы ластанулардың енуіне жол бермеу үшін ішкі қысымды (статикалық қысымды) сыртқы қысымнан (статикалық қысым) жоғары ұстау қажет. Қысым айырмашылығын сақтау әдетте келесі принциптерге сәйкес болуы керек:
1. Таза бөлмелердегі қысым таза емес кеңістіктегі қысымнан жоғары болуы керек.
2. Тазалық деңгейі жоғары бөлмелердегі қысым тазалық деңгейі төмен көрші үй-жайлардағы қысымнан жоғары болуы керек.
3. Таза бөлмелер арасындағы есіктер тазалық деңгейі жоғары бөлмелерге қарай ашылуы керек.
Қысым айырмашылығының сақталуы таза ауаның мөлшеріне байланысты, ол осы қысым айырмашылығы кезінде саңылаудан ауаның ағуын өтеуге қабілетті болуы керек. Сонымен, қысым айырмашылығының физикалық мағынасы таза бөлмедегі әртүрлі бос орындар арқылы ағып кету (немесе инфильтрация) ауа ағынының кедергісі болып табылады.
Жіберу уақыты: 21 шілде 2023 ж