ТАЗА БӨЛМЕДЕГІ ТЕМПЕРАТУРА ЖӘНЕ АУА ҚЫСЫМЫН БАҚЫЛАУ

Қоршаған ортаны қорғауға, әсіресе тұманды ауа райының артуына байланысты, көбірек көңіл бөлінуде. Таза бөлме инженериясы - қоршаған ортаны қорғау шараларының бірі. Қоршаған ортаны қорғауда жақсы жұмыс істеу үшін таза бөлме инженериясын қалай пайдалануға болады? Таза бөлме инженериясындағы бақылау туралы әңгімелесейік.

Таза бөлмедегі температура мен ылғалдылықты бақылау

Таза кеңістіктердің температурасы мен ылғалдылығы негізінен технологиялық талаптарға негізделіп анықталады, бірақ технологиялық талаптарды орындаған кезде адамның жайлылығы ескерілуі керек. Ауа тазалығы талаптарының жақсаруымен технологиялық процестерде температура мен ылғалдылыққа қойылатын талаптардың күшею үрдісі байқалады.

Жалпы қағида бойынша, өңдеудің дәлдігінің артуына байланысты температура ауытқу диапазонына қойылатын талаптар азайып барады. Мысалы, ірі көлемді интегралды микросхема өндірісінің литографиясы мен экспозиция процесінде маска материалдары ретінде қолданылатын шыны және кремний пластиналары арасындағы жылу кеңею коэффициентінің айырмашылығы барған сайын азайып барады.

Диаметрі 100 мкм кремний пластинасы температура 1 градусқа көтерілгенде 0,24 мкм сызықтық кеңеюге әкеледі. Сондықтан ± 0,1 ℃ тұрақты температура қажет, ал ылғалдылық мәні әдетте төмен, себебі терлегеннен кейін өнім ластанады, әсіресе натрийден қорқатын жартылай өткізгіш шеберханаларда. Мұндай шеберхана 25 ℃-тан аспауы керек.

Шамадан тыс ылғалдылық көбірек мәселелерді тудырады. Салыстырмалы ылғалдылық 55%-дан асқан кезде, салқындатқыш су құбырының қабырғасында конденсация пайда болады. Егер бұл дәлдік құрылғыларында немесе тізбектерінде орын алса, әртүрлі апаттарға әкелуі мүмкін. Салыстырмалы ылғалдылық 50% болғанда, тот басуы оңай. Сонымен қатар, ылғалдылық тым жоғары болған кезде, кремний пластинасының бетіне жабысқан шаң ауадағы су молекулалары арқылы бетіне химиялық жолмен адсорбцияланады, оны кетіру қиын.

Салыстырмалы ылғалдылық неғұрлым жоғары болса, адгезияны кетіру соғұрлым қиын болады. Дегенмен, салыстырмалы ылғалдылық 30%-дан төмен болған кезде, бөлшектер электростатикалық күштің әсерінен бетке оңай адсорбцияланады және көптеген жартылай өткізгіш құрылғылар бұзылуға бейім. Кремний пластинасын өндіру үшін оңтайлы температура диапазоны 35-45% құрайды.

Ауа қысымыбақылаутаза бөлмеде 

Көптеген таза кеңістіктер үшін сыртқы ластанудың алдын алу үшін ішкі қысымды (статикалық қысым) сыртқы қысымнан (статикалық қысым) жоғары ұстау қажет. Қысым айырмашылығын сақтау әдетте келесі қағидаттарға сәйкес келуі керек:

1. Таза кеңістіктердегі қысым таза емес кеңістіктердегі қысымнан жоғары болуы керек.

2. Тазалық деңгейі жоғары кеңістіктердегі қысым тазалық деңгейі төмен көршілес кеңістіктердегі қысымнан жоғары болуы керек.

3. Таза бөлмелер арасындағы есіктер тазалық деңгейі жоғары бөлмелерге қарай ашылуы керек.

Қысым айырмашылығын сақтау таза ауаның мөлшеріне байланысты, ол осы қысым айырмашылығы астындағы саңылаудан ауаның ағып кетуін өтей алуы керек. Сондықтан қысым айырмашылығының физикалық мағынасы таза бөлмедегі әртүрлі саңылаулар арқылы ауа ағынының ағып кетуіне (немесе инфильтрациясына) кедергі болып табылады.