Қоршаған ортаны қорғауға көбірек көңіл бөлінеді, әсіресе тұман ауа-райының көбеюімен. Таза бөлме инженері қоршаған ортаны қорғау шараларының бірі болып табылады. Қоршаған ортаны қорғауда жақсы жұмыс істеу үшін таза бөлме инженериясын қалай пайдалануға болады? Таза бөлмеде бақылау туралы сөйлесейік.
Таза бөлмедегі температура мен ылғалдылықты бақылау
Таза кеңістіктің температурасы мен ылғалдылығы негізінен технологиялық талаптарға сәйкес анықталады, бірақ процестің талаптарын жинады, бірақ адамның жайлылығы ескерілуі керек. Ауа тазалықтың талаптарын жақсартумен температура мен ылғалдылыққа қойылатын талаптардың тенденциясы байқалады.
Жалпы принцип ретінде, өңдеудің дәлдігін арттыруға байланысты температура ауытқуы бойынша талаптар азаяды және кішірейеді. Мысалы, ауқымды интеграцияланған тізбектің литография және әсер ету процесінде маска материалдары ретінде қолданылатын әйнек пен кремний вафлидерінің арасындағы жылу кеңейту коэффициентінің айырмашылығы аз бола түсуде.
Диаметрі 100 мк мк смал-силикон вафлиі температура 1 градусқа көтерілгенде, 0,24 мк мк мк м-нің артуын тудырады. Сондықтан, тұрақты температура қажет ± 0,1 ℃ қажет, ал ылғалдылық мәні, ал терлеуден кейін өнім ластанғандықтан, әсіресе, натрийден қорқатын жартылай өткізгіш шеберханаларда. Семинардың бұл түрі 25 ℃ аспауы керек.
Шамадан тыс ылғалдылық көп проблемаларды тудырады. Салыстырмалы ылғалдылық 55% -дан асқан кезде, салқындату су құбырының қабырғасында конденсация пайда болады. Егер дәлдік құрылғыларда немесе тізбектерде болса, ол әртүрлі жазатайым оқиғаларға әкелуі мүмкін. Салыстырмалы ылғалдылық 50% болған кезде, тотқа оңай. Сонымен қатар, ылғалдылық тым жоғары болған кезде, кремний вафлиінің бетіне төгілген шаң ауадағы су молекулалары арқылы бетіне жабыстырылады, оны жою қиын.
Салыстырмалы ылғалдылығы неғұрлым жоғары болса, ол адгезияны кетіру қиын. Алайда, салыстырмалы ылғалдылығы 30% -дан төмен болған кезде, электростатикалық күштердің әсерінен бөлшектер сонымен қатар бетіне оңай адсейс етеді, ал жартылай өткізгіш құрылғылардың көп бөлігі бұзылуға бейім. Кремний вафли өндірісіне арналған оңтайлы температура диапазоны 35-45% құрайды.
Ауа қысымыбақылауТаза бөлмеде
Көптеген таза кеңістіктер үшін сыртқы ластанудың алдын алу үшін сыртқы қысымнан (статикалық қысым) ішкі қысымды (статикалық қысымды) сақтау қажет. Қысым айырмашылығының күші төмендегі ұстанымдарға сәйкес келуі керек:
1. Таза кеңістіктегі қысым бұл жерлерден жоғары болуы керек.
2. Тазалық деңгейі жоғары кеңістіктегі қысым тазалық деңгейі төмен іргелес бос орындарға қарағанда жоғары болуы керек.
3. Таза бөлмелер арасындағы есіктер тазалық деңгейі жоғары бөлмелерге қарай ашылуы керек.
Қысымдық айырмашылықты сақтау таза ауаның мөлшеріне байланысты, бұл осы қысым айырмашылығы астындағы алшақтықтан ауаның ағып кетуіне өтеледі. Сонымен, қысым айырмашылығының физикалық мәні - бұл таза бөлмедегі түрлі олқылықтар арқылы ағып кету (немесе инфильтрация) ағып кетуінің кедергісі.
POST TIME: JUL-21-2023