СК Өңдеу өнеркәсібіндегі чиптің мөлшерлемесі чиптегі ауа бөлшектерінің мөлшерімен және санымен тығыз байланысты. Жақсы ауа ағынын ұйымдастыру Таза бөлменің тазалығымен тазалықты таза бөлмеден алшақтата алады, яғни таза бөлменің тазалығын алу үшін, бұл таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыру IC өндірісінің кірістілік деңгейінде маңызды рөл атқарады. Таза бөлменің ауа ағынын жобалау келесі мақсаттарға жетуі керек: зиянды бөлшектердің сақталуын болдырмас үшін келесі мақсаттарға жету керек: ағын өрісіндегі Eddy токын азайту немесе жою; ластанудың алдын алу үшін тиісті оң қысым градиентін сақтаңыз.
Ауа ағынының күші
Таза бөлме принципіне сәйкес, бөлшектерде жұмыс істейтін күштердің массалық күш, молекулалық күші, бөлшектер, ауа ағысының күші және т.б.
Ауа ағынының күші: жеткізілімнен туындаған ауа ағынының, жеткізілімнен, қалпына келтіру, жылу конвекциясы, жасанды араластыру, жасанды араластыру және басқа ауа ағындары бөлшектерді алып жүру үшін. Таза бөлме ортасын техникалық басқару үшін ауа ағынының күші - ең маңызды фактор.
Эксперименттер көрсеткендей, ауа ағынының қозғалысында бөлшектер ауа ағынының қозғалысымен бірдей жылдамдықпен жүреді. Ауадағы бөлшектердің күйі ауа ағынының таралуымен анықталады. Жабық бөлшектерге әсер ететін ауа ағындары негізінен мыналарды қамтиды: ауа жеткізетін ауа ағындары (бастапқы ауа ағынын және қайталама ауа ағынын қоса), ауа ағынын қосқанда, ауа ағыны және ауа ағынымен жүреді, ауа ағынымен және жылу конвекциясы ауа ағынымен және технологиялық жабдықтармен және өндірістік жабдықтармен туындаған ауа ағынымен. Ауаны жеткізудің әртүрлі әдістері, жылдамдық интерфейстері, операторлар және өндірістік жабдықтар және таза бөлмелердегі құбылыстар, тазалық деңгейіне әсер ететін барлық факторлар.
Ауа ағынын ұйымдастыруға әсер ететін факторлар
1. Ауаны жеткізу әдісінің әсері
(1). Ауаны жеткізу жылдамдығы
Біркелкі ауа ағынын қамтамасыз ету үшін ауа жеткізгіш жылдамдық біркелкі таза бөлмеде болуы керек; Ауаны жеткізу бетінің өлі аймағы кішкентай болуы керек; Сондай-ақ, ULPA-дағы қысымның төмендеуі де біркелкі болуы керек.
Ауаның бірыңғай жылдамдығы: яғни ауа ағынының біркелкі еместігі ± 20% -ға дейін бақыланады.
Ауаны жеткізу бетіне аз өлі аймақ: тек ULPA жақтауының ұшақ аймағы азаяуы керек, бірақ ең бастысы, артықшылықты жеңілдету үшін федералды FFU қабылданған жөн.
Тік бір бағытты ауа ағынын қамтамасыз ету үшін сүзгінің қысымның төмендеуі де өте маңызды, сүзгідегі қысымның жоғалуы ауытқып кете алмайды.
(2). FFU жүйесі мен осьтік ағын желісінің жүйесі арасындағы салыстыру
FFU - желдеткіш және сүзгі бар ауа жеткізгіш (ULPA). Ауаны центрифугалық фулдан кейін сіңіргеннен кейін, динамикалық қысым ауа түтігіндегі тұрақты қысымға айналады және ULPA-дан біркелкі жарылады. Төбеге ауаның қысымы теріс қысым, сондықтан сүзгі ауыстырылған кезде шаңның шаңына түспейді. Тәжірибелер FFU жүйесі ауа шығатын желдеткіш жүйесін ауа розеткасы, ауа ағынының параллелизмі және желдету тиімділігінің индексі бойынша көрсеткендігін көрсетті. Себебі FFU жүйесінің ауа ағын параллелизмі жақсырақ болғандықтан. FFU жүйесін қолдану ауа ағынын таза бөлмеде жақсы ұйымдастыра алады.
(3). FFU-ның өз құрылымының әсері
FFU негізінен жанкүйерлерден, сүзгілерден, ауа ағындарына бағыттаушы құрылғылардан және басқа компоненттерден тұрады. Ультра жоғары тиімділік сүзгісі ULPA - бұл таза бөлме дизайнның қажетті тазалығына қол жеткізе ме, соның маңызды кепілі. Сүзгінің материалы ағын өрісінің біркелкілігіне әсер етеді. Сүзгі розеткасына өрескел сүзгі немесе ламинар ағынының тақтасы қосылған кезде, шығыс ағынын оңай жасауға болады.
2. Тазалықтың әртүрлі жылдамдық интерфейстерінің әсері
Сол таза бөлмеде, жұмыс аймағы мен тік бірлескен верторлық ағынның арасында, көптеген учаскелік ағынның арасындағы, көптеген учаскелердегі ауа жылдамдығының айырмашылығына байланысты интерфейсте пайда болады, ал бұл интерфейс аралас құйынды эффект түседі және бұл интерфейс турбулентті болады ауа ағынының аймағы, әсіресе жоғары ауа ағындары. Бөлшектер жабдықтың бетіне беріліп, жабдықтар мен вафлиді ластайды.
3. Қызметкерлер мен жабдықтардың әсері
Таза бөлме бос болған кезде бөлмедегі ауа ағынының сипаттамалары әдетте дизайн талаптарына сәйкес келеді. Жабдық таза бөлмеге кіргеннен кейін, персоналдың жылжуы және өнімдері беріледі, ауа ағынын ұйымдастыруға сөзсіз кедергі келтіреді. Мысалы, жабдықтардың бұрыштары немесе жиектерінде, газ турбулентті аймақты қалыптастыру үшін бұрылады, ал аймақтағы сұйықтық газбен оңай алып кетпейді, осылайша ластануды тудырады. Сонымен бірге, жабдықтың беті үздіксіз жұмыс істеуге байланысты қызады, ал температура градиенті машинаның жанында шағылыстыратын аймаққа әкеледі, бұл шағылысу аймағындағы бөлшектердің жинақталуын арттырады. Сонымен бірге, жоғары температура бөлшектердің кетуіне оңай көмектеседі. Қос эффект жалпы вертикальды ламинар тазалықты бақылау қиындайды. Таза бөлмедегі операторлардың шаңы осы шағылыстыратын аймақтардағы вафлиді ұстану өте оңай.
4. Ауаның қайтып келуінің әсері
Қайтарылған ауаның еденнен өтіп кетуі әр түрлі болған кезде, ауа азық-түлік айырмашылығы, ауа азық-түлік бағытында аз қарсылық пен біркелкі ауа ағыны алынбайды. Танымал дизайн әдісі - едендерді қолдану. Жоғары көтерілген едендердің ашылу деңгейі 10%, бөлменің жұмыс биіктігінде ауа ағынының жылдамдығы біркелкі бөлуге болады. Сонымен қатар, еденнің ластану көзін азайту үшін тазарту жұмыстарына қатаң назар аудару қажет.
5. Индукциялық құбылыс
Индукциялық құбылыс деп аталатын феноменге бірыңғай ағынның керісінше ағып кету бағыты пайда болады, ал бөлмеде пайда болатын шаң немесе көрші ластанған аймақтағы шаң, шаң чипті ластауы мүмкін. Төменде индукция құбылыстары келтірілген:
(1). Соқырлар
Терідегі таза бөлмеде, қабырғадағы буындардың арқасында, жергілікті қайтару ағынында турбуленттілік тудыратын үлкен перме тақталар бар.
(2). Шамдар
Таза бөлменің жарықтандыру құрылғылары үлкен әсер етеді. Флуоресцентті шамдар жылу ауа ағынының жоғарылауына әкелгендіктен, флуоресцентті лампалардың астында турбулентті аймақ болмайды. Әдетте, таза бөлмедегі шамдар лампалардың ауа ағынын ұйымдастыруды азайту үшін көз жасы пішінінде жасалған.
(3.) Қабырғалар арасындағы олқылықтар
Тазалық деңгейі бар бөлімдер арасында немесе бөлімдер мен төбелер арасында алшақтаулар арасында болған кезде, тазалық талаптары аз ауданның шаңы тазалығына қойылатын іргелес аймаққа берілуі мүмкін.
(4). Машина мен еден немесе қабырға арасындағы қашықтық
Егер машина мен еденнің немесе қабырға арасындағы алшақтық өте кішкентай болса, ол турбуленттілікке әкеледі. Сондықтан, жабдық пен қабырға арасында алшақтықты қалдырыңыз және машинаны жерге тікелей тигізбеу үшін машинаны көтеріңіз.
POST TIME: Feb-05-2025