IC өңдеу өнеркәсібіндегі чиптің шығу жылдамдығы чипте орналасқан ауа бөлшектерінің мөлшерімен және санымен тығыз байланысты. Ауа ағынын жақсы ұйымдастыру таза бөлменің тазалығын қамтамасыз ету үшін шаң көзі тудыратын бөлшектерді таза бөлмеден алып тастай алады, яғни таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыру IC өндірісінің шығымдылығында маңызды рөл атқарады. Таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыруды жобалау келесі мақсаттарға жетуді қажет етеді: зиянды бөлшектердің сақталуын болдырмау үшін ағын өрісіндегі құйынды токты азайту немесе жою; айқаспалы ластануды болдырмау үшін тиісті оң қысым градиентін сақтаңыз.
Ауа ағынының күші
Таза бөлме принципі бойынша бөлшектерге әсер ететін күштерге массалық күш, молекулалық күш, бөлшектер арасындағы тартылыс, ауа ағыны күші және т.б.
Ауа ағынының күші: жеткізу, қайтару, термиялық конвекциялық ауа ағыны, жасанды араластыру және бөлшектерді тасымалдау үшін белгілі бір ағын жылдамдығы бар басқа ауа ағындары нәтижесінде пайда болатын ауа ағынының күшін білдіреді. Таза бөлме ортасын техникалық бақылау үшін ауа ағынының күші ең маңызды фактор болып табылады.
Тәжірибелер ауа ағынының қозғалысында бөлшектердің ауа ағынының қозғалысын бірдей дерлік жылдамдықпен орындайтынын көрсетті. Ауадағы бөлшектердің күйі ауа ағынының таралуымен анықталады. Ішкі бөлшектерге әсер ететін ауа ағындарына негізінен мыналар жатады: ауа беретін ауа ағыны (соның ішінде бастапқы ауа ағыны және қайталама ауа ағыны), ауа ағыны және адамдардың жүруінен туындаған жылу конвекциялық ауа ағыны және технологиялық жұмыс пен өнеркәсіптік жабдықтан туындаған ауа ағыны. Ауа берудің әртүрлі әдістері, жылдамдық интерфейстері, операторлар мен өнеркәсіптік жабдық, таза бөлмелердегі индукциялық құбылыстардың барлығы тазалық деңгейіне әсер ететін факторлар болып табылады.
Ауа ағынын ұйымдастыруға әсер ететін факторлар
1. Ауаны беру әдісінің әсері
(1). Ауаны беру жылдамдығы
Ауаның біркелкі ағынын қамтамасыз ету үшін бір бағытты таза бөлмеде ауа беру жылдамдығы біркелкі болуы керек; ауа беру бетінің өлі аймағы шағын болуы керек; және ЗТБ-дағы қысымның төмендеуі де біркелкі болуы керек.
Біркелкі ауа беру жылдамдығы: яғни ауа ағынының біркелкі еместігі ±20% шегінде бақыланады.
Ауа беру бетіндегі өлі аймақтың аз болуы: ULPA жақтауының жазықтық аймағын азайту ғана емес, одан да маңыздысы артық жақтауды жеңілдету үшін модульдік FFU қабылдау керек.
Тік бір бағытты ауа ағынын қамтамасыз ету үшін сүзгінің қысымның төмендеуін таңдау да өте маңызды, бұл сүзгідегі қысымның жоғалуы ауытқымауын талап етеді.
(2). FFU жүйесі мен осьтік ағынды желдеткіш жүйесін салыстыру
FFU - желдеткіші және сүзгісі (ULPA) бар ауа беру құрылғысы. FFU орталықтан тепкіш желдеткішпен ауа сорылғаннан кейін динамикалық қысым ауа құбырындағы статикалық қысымға айналады және ULPA арқылы біркелкі үрленеді. Төбедегі ауа беру қысымы теріс қысым болып табылады, сондықтан сүзгіні ауыстырған кезде таза бөлмеге шаң ағып кетпейді. Тәжірибелер FFU жүйесінің ауа шығатын біркелкілігі, ауа ағынының параллельдігі және желдету тиімділігі индексі бойынша осьтік ағынды желдеткіш жүйесінен жоғары екенін көрсетті. Себебі FFU жүйесінің ауа ағынының параллелизмі жақсырақ. FFU жүйесін пайдалану таза бөлмедегі ауа ағынын жақсырақ ұйымдастыруға мүмкіндік береді.
(3). FFU-ның өзіндік құрылымының әсері
FFU негізінен желдеткіштерден, сүзгілерден, ауа ағынын бағыттаушы құрылғылардан және басқа компоненттерден тұрады. Өте жоғары тиімді ULPA сүзгісі таза бөлме дизайнның талап етілетін тазалығына қол жеткізе алатындығына ең маңызды кепілдік болып табылады. Сүзгі материалы ағын өрісінің біркелкілігіне де әсер етеді. Сүзгі шығысына дөрекі сүзгі материалы немесе ламинарлы ағын тақтасы қосылғанда, шығыс ағынының өрісін оңай біркелкі етуге болады.
2. Тазалықтың әртүрлі жылдамдық интерфейстерінің әсері
Сол таза бөлмеде жұмыс аймағы мен тік бір бағытты ағынның жұмыс істемейтін аймағы арасында ULPA шығысындағы ауа жылдамдығының айырмашылығына байланысты интерфейсте аралас құйынды эффект пайда болады және бұл интерфейс ауаның турбуленттілігі ерекше қарқындылығы жоғары турбулентті ауа ағыны аймағына айналады. Бөлшектер жабдықтың бетіне өтіп, жабдық пен пластинаны ластауы мүмкін.
3. Персонал мен жабдықтардың әсері
Таза бөлме бос болған кезде, бөлмедегі ауа ағынының сипаттамалары әдетте дизайн талаптарына сәйкес келеді. Жабдық таза бөлмеге кіріп, персонал қозғалып, өнімдер жіберілгеннен кейін ауа ағынын ұйымдастыруда сөзсіз кедергілер болады. Мысалы, жабдықтың шығыңқы бұрыштарында немесе шеттерінде газ турбулентті аймақты қалыптастыру үшін бұрылады, ал аймақтағы сұйықтық газбен оңай тасымалданбайды, осылайша ластануды тудырады. Бұл ретте үздіксіз жұмыс істеуге байланысты жабдықтың беті қызады, ал температура градиенті машинаның жанында қайта ағу аймағын тудырады, бұл қайта ағу аймағында бөлшектердің жиналуын арттырады. Сонымен қатар, жоғары температура бөлшектердің оңай кетуіне әкеледі. Қосарлы әсер жалпы тік ламинарлы тазалықты бақылаудың қиындығын күшейтеді. Таза бөлмедегі операторлардың шаңы осы қайта ағу аймақтарындағы вафлилерге оңай жабысады.
4. Қайтару ауа қабатының әсері
Еден арқылы өтетін кері ауаның кедергісі әртүрлі болған кезде қысым айырмашылығы пайда болады, осылайша ауа аз қарсылық бағытында ағып, біркелкі ауа ағыны алынбайды. Қазіргі танымал дизайн әдісі - көтерілген едендерді пайдалану. Көтерілген қабаттардың ашылу жылдамдығы 10% болғанда, бөлменің жұмыс биіктігіндегі ауа ағынының жылдамдығы біркелкі бөлінуі мүмкін. Сонымен қатар, еденнің ластану көзін азайту үшін тазалау жұмыстарына қатаң назар аудару керек.
5. Индукция құбылысы
Индукция құбылысы деп аталатын құбылыс біркелкі ағынға қарама-қарсы бағытта ауа ағынының пайда болуы және бөлмеде пайда болатын шаң немесе көрші ластанған аймақтағы шаңның желге қарсы жағына индукциялануы, шаң чипті ластауы мүмкін құбылысты білдіреді. Мыналар мүмкін индукция құбылыстары:
(1). Соқыр табақ
Тігінен бір бағытты ағыны бар таза бөлмеде қабырғадағы қосылыстарға байланысты, әдетте жергілікті қайтару ағынында турбуленттілік тудыратын үлкен соқыр тақталар бар.
(2). Шамдар
Таза бөлмедегі жарықтандыру құрылғылары көбірек әсер етеді. Флуоресцентті лампалардың қызуы ауа ағынының көтерілуіне әкелетіндіктен, флуоресцентті лампалардың астында турбулентті аймақ болмайды. Әдетте таза бөлмедегі шамдар ауа ағынын ұйымдастыруға шамдардың әсерін азайту үшін көз жасы түрінде жасалған.
(3.) Қабырғалар арасындағы бос орындар
Тазалық деңгейі әртүрлі қалқалар арасында немесе қалқалар мен төбелер арасында саңылаулар болған кезде тазалық талаптары төмен аймақтың шаңы жоғары тазалық талаптары бар көрші аумаққа тасымалдана алады.
(4). Машина мен еден немесе қабырға арасындағы қашықтық
Егер машина мен еден немесе қабырға арасындағы алшақтық өте аз болса, бұл кері серпіліс тудыруы мүмкін. Сондықтан жабдық пен қабырға арасында бос орын қалдырыңыз және құрылғы жерге тікелей тиіп кетпеу үшін оны көтеріңіз.
Жіберу уақыты: 05 ақпан 2025 ж