Чипті өңдеу өнеркәсібіндегі чиптің өнімділігі чипте сақталған ауа бөлшектерінің мөлшерімен және санымен тығыз байланысты. Ауа ағынын жақсы ұйымдастыру шаң көздерінен алынған бөлшектерді таза бөлмеден алшақ және таза бөлме тазалығын қамтамасыз ете алады. Яғни, таза жерде ауа ағынын ұйымдастыру чип өндірісінің кірістілігі бойынша маңызды рөл атқарады. Тазалық бөлмедегі ауа ағындарын жобалау кезінде қол жеткізілетін мақсаттар: зиянды бөлшектердің сақталуын болдырмас үшін ағынды өрістегі Eddy токтарын азайту немесе жою; ластанудың алдын алу үшін тиісті оң қысым градиентін сақтау.
Таза бөлме қағидатына сәйкес, бөлшектерге әсер ететін күштердің масса күші, молекулалық күші, бөлшектердің, ауа ағындарының тартымдылығы және т.б. жатады.
Ауа ағынының күші: ауа ағынының, ауа ағынының, жылу конвекциясының, Жан -ар конвекциясының ауа ағынының, жасанды үгіт-оспақ, жасанды үгіт және басқа ауа ағындары бөлшектерін алып жүреді. Таза бөлмеде экологиялық технологияны бақылау үшін ауа ағынының күші - ең маңызды фактор.
Эксперименттер ауа ағынының қозғалысында, бөлшектер ауа ағынына дәл сол жылдамдықпен жүреді. Ауадағы бөлшектердің жағдайы ауа ағынының таралуымен анықталады. Ауа ағынының ішкі бөлшектеріне әсері мыналар кіреді: ауа жеткізілімінің ауа ағынына жатады (әуе ағыны, қосалқы ауа ағынын, қосалқы ауа ағынын қосқанда), ауа ағындары және ауа ағынының ауа ағындары, ауа ағыны және жылу конвекциясының ауа ағындары және ауа ағынының технологиялық операцияларымен және өндірістік жабдықтарға әсер етеді. Ауаны жеткізудің әртүрлі әдістері, жылдамдық интерфейстері, операторлар және өндірістік жабдықтар, таза құбылыстар және т.б. Тазартқыштар мен т.б. Тазалық деңгейге әсер ететін барлық факторлар.
1. Ауаны жеткізу әдісінің әсері
(1) Ауаны жеткізу жылдамдығы
Ауаның бірыңғай ағынын қамтамасыз ету үшін, бір бағытта ағынды тазалық бөлмеде ауа жеткізгіш жылдамдық біркелкі болуы керек; Ауаны жеткізу бетіне өлі аймақ аз болуы керек; және HEPA сүзгісіндегі қысымның төмендеуі де біркелкі болуы керек.
Ауаны жеткізу жылдамдығы біркелкі болып табылады: яғни ауа ағынының біркелкі еместігі ± 20% -ға дейін басқарылады.
Ауаны жеткізу бетіне өлі кеңістік бар: тек HEPA жақтауының ұшақ аймағы азаяуы керек, бірақ ең бастысы, артықшылықты жеңілдету үшін модульдік FFU қолданылуы керек.
Ауа ағынының вертикальды және бір бағыты болғанын қамтамасыз ету үшін, сүзгінің қысымның төмендеуі де өте маңызды, сондықтан сүзгідегі қысымның жоғалуы жағымсыз болуы мүмкін.
(2) FFU жүйесі мен осьтік ағын желісінің желісінің салыстыруы
FFU - желдеткіш және HEPA сүзгісі бар ауа жеткізгіш. Ауа ауаны FFU центрифугалық желдеткіші арқылы сорып, динамикалық қысымды ауа түтікшелеріндегі тұрақты қысымға айналдырады. Ол HEPA сүзгісімен біркелкі жарылады. Төбеге арналған ауа қысымы - теріс қысым. Осылайша, сүзгіні ауыстырған кезде таза бөлмеде шаң ағып кетпейді. Эксперименттер FFU жүйесі ауа шығатын біркелкілік, ауа ағындарының параллелизмі және желдету тиімділігінің индексі бойынша осьтік ағын желісінің жүйесінен жоғары екенін көрсетті. Бұл FFU жүйесінің параллелизмі жақсы болғандықтан. FFU жүйесін пайдалану таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыруды жақсарта алады.
(3) FFU-ның өз құрылымының әсері
FFU негізінен жанкүйерлерден, сүзгілерден, ауа ағындарынан және басқа компоненттерден тұрады. HEPA сүзгісі - бұл таза бөлме үшін дизайн бойынша талап етілетін қажетті тазалыққа қол жеткізу үшін маңызды кепілдік болып табылады. Сүзгінің материалы ағын өрісінің біркелкілігіне әсер етеді. Дөрекі сүзгіден жасалған материал немесе ағын тақтасы сүзгі розеткасына қосылған кезде, шығыс ағынының өрісін оңай жасауға болады.
2. Жылдамдық интерфейстің әр түрлі тазалығымен әсері
Дәл сол таза бөлмеде, жұмыс аймағы мен жұмыс істемейтін аймақ, вертикальды емес ағындары, HEPA қорабындағы ауа жылдамдығының айырмашылығына байланысты интерфейсте аралас құйынды әсері болады, ал бұл интерфейс турбулентті болады Ауа ағыны аймағы. Әуе-турбуленттіліктің қарқындылығы әсіресе күшті, ал бөлшектер жабдық машинасының бетіне беріліп, жабдықтар мен жабдықтар мен вафлиді ластайды.
3. Қызметкерлер мен жабдықтарға әсер ету
Таза бөлме бос болған кезде, бөлмедегі ауа ағынының сипаттамалары әдетте дизайн талаптарына сәйкес келеді. Жабдық таза бөлмеден өтіп, адамдар тасымалданады, ал өнімдер тасымалданады, ауа ағынын ұйымдастыруға арналған, мысалы, жабдық машинасынан шығатын өткір нүктелер сияқты сөзсіз кедергілер бар. Бұрыштарда немесе жиектерде газ турбулентті ағын аймағын қалыптастыру үшін бұрылып, алдағы сұйықтықты кіріс газымен оңай алып кетпейді, осылайша ластануды тудырады.
Сонымен бірге механикалық жабдықтардың беті үздіксіз жұмыс істеуге байланысты жылытылады, ал температура градиенті машинаның жанында шағылыстырады, бұл шағылысу аймағындағы бөлшектердің жинақталуын арттырады. Сонымен бірге, жоғары температура бөлшектердің кетуіне оңай көмектеседі. Қос эффект жалпы тік қабатты күшейтеді. Ағынды тазалықты бақылау қиындығы. Таза бөлмедегі операторлардың шаңы осы шағылысқан жерлерде вафлиді оңай ұстана алады.
4. Ауаның қайтып келуінің әсері
Қайтарылған ауаның еденнен өтіп кетуі әр түрлі болған кезде, қысым айырмашылығы әр түрлі болады, ауа ағыны аздап төзімділік бағытында ағып кетеді, ал ауаның бірыңғай ағыны алынбайды. Танымал дизайн әдісі - көбеят-еденді пайдалану. Жоғары деңгейдегі еденнің ашылу коэффициенті 10% -ға, ауа ағынының жылдамдығын жабық жұмыс биіктігінде біркелкі таратуға болады. Сонымен қатар, тазарту жұмыстарына едендегі ластану көзін азайту үшін қатаң назар аудару керек.
5. Индукциялық құбылыс
Индукциялық құбылыс біркелкі бағытта, ал біркелкі бағытта, біркелкі бағытта, біркелкі бағытта, жердегі шаң мен шаңды ағартқышқа, төсеммен қоршалған шаңды ағызуға, яғни шаңды ағызуды тудырады, осылайша шаңды ластауы мүмкін. Мүмкін индукцияланған құбылыстар мыналарды қамтиды:
(1) соқыр платформа
Тік бөлмеде, қабырғадағы буындармен, қабырғадағы буындардың арқасында, турбулентті ағындар мен жергілікті кері ағындар пайда болатын үлкен соқыр панельдер бар.
(2) шамдар
Таза бөлмедегі жарықтандыру құрылғылары үлкен әсер етеді. Флуоресцентті шамның қызуы ауа ағынының пайда болуына әкеледі, флуоресцентті шам турбулентті аймаққа айналмайды. Әдетте, таза бөлмедегі шамдар лампалардың ауа ағынын ұйымдастыруға әсерін азайту үшін көз жасы пішінінде жасалған.
(3) Қабырғалар арасындағы олқылықтар
Бөліну қабырғалары мен төбелер арасында алшақтықтардың арасында алшақтықтар болған кезде, тазалық талаптары төмен аудандардан шаңның құрамында таза жерлерге берілуі мүмкін.
(4) механикалық жабдықтар мен еден немесе қабырға арасындағы қашықтық
Егер механикалық жабдық пен еден немесе қабырға арасындағы алшақтық кішкентай болса, турбуленттілік пайда болады. Сондықтан, жабдықтар мен қабырға арасында алшақтықты қалдырыңыз және жерге тікелей тиіп кетпеу үшін машина платформасын көтеріңіз.
POST TIME: NOV-02-2023