Чип өндірісіндегі чиптің шығуы чипке түсетін ауа бөлшектерінің мөлшері мен санымен тығыз байланысты. Ауа ағынын жақсы ұйымдастыру шаң көздерінен пайда болған бөлшектерді таза бөлмеден алып, таза бөлменің тазалығын қамтамасыз ете алады. Яғни, таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыру чип өндірісінің шығуында маңызды рөл атқарады. Таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыруды жобалауда қол жеткізілетін мақсаттар: зиянды бөлшектердің сақталуын болдырмау үшін ағын өрісіндегі құйынды ағындарды азайту немесе жою; айқаспалы ластанудың алдын алу үшін тиісті оң қысым градиентін сақтау.
Таза бөлме принципіне сәйкес, бөлшектерге әсер ететін күштерге массалық күш, молекулалық күш, бөлшектер арасындағы тартылыс күші, ауа ағынының күші және т.б. жатады.
Ауа ағынының күші: ауа ағынының берілу және қайтарылу күші, жылу конвекциясы, жасанды араластыру және бөлшектерді тасымалдау үшін белгілі бір ағын жылдамдығы бар басқа ауа ағындарынан туындайтын ауа ағынының күшін білдіреді. Таза бөлмені қоршаған орта технологиясын басқару үшін ауа ағынының күші ең маңызды фактор болып табылады.
Тәжірибелер ауа ағынының қозғалысында бөлшектер ауа ағынымен бірдей жылдамдықпен жүретінін көрсетті. Ауадағы бөлшектердің жағдайы ауа ағынының таралуымен анықталады. Ауа ағынының үй ішіндегі бөлшектерге негізгі әсерлеріне мыналар жатады: ауамен қамтамасыз ету ауа ағыны (бастапқы және екінші реттік ауа ағынын қоса алғанда), адамдардың жүруінен туындаған ауа ағыны және жылу конвекциялық ауа ағыны, сондай-ақ ауа ағынының технологиялық операциялар мен өнеркәсіптік жабдықтардан туындаған бөлшектерге әсері. Таза бөлмелердегі әртүрлі ауамен қамтамасыз ету әдістері, жылдамдық интерфейстері, операторлар мен өнеркәсіптік жабдықтар, индукцияланған құбылыстар және т.б. - мұның бәрі тазалық деңгейіне әсер ететін факторлар.
1. Ауамен жабдықтау әдісінің әсері
(1) Ауа беру жылдамдығы
Біркелкі ауа ағынын қамтамасыз ету үшін бір бағытты ағынды таза бөлмедегі ауа беру жылдамдығы біркелкі болуы керек; ауа беру бетіндегі өлі аймақ аз болуы керек; және HEPA сүзгісіндегі қысымның төмендеуі де біркелкі болуы керек.
Ауа беру жылдамдығы біркелкі: яғни ауа ағынының біркелкі еместігі ±20% шегінде бақыланады.
Ауа беру бетінде өлі кеңістік азаяды: HEPA рамасының жазық ауданын азайту ғана емес, сонымен қатар, артық раманы жеңілдету үшін модульдік FFU қолданылуы керек.
Ауа ағынының тік және бір бағытты болуын қамтамасыз ету үшін сүзгінің қысым төмендеуін таңдау да өте маңызды, және сүзгі ішіндегі қысымның жоғалуын біржақты етпеу қажет.
(2) FFU жүйесі мен осьтік ағынды желдеткіш жүйесін салыстыру
FFU - желдеткіші мен HEPA сүзгісі бар ауа беру блогы. Ауа FFU-ның центрифугалық желдеткішімен сорылып, динамикалық қысымды ауа өткізгішіндегі статикалық қысымға айналдырады. Ол HEPA сүзгісімен біркелкі үрленеді. Төбедегі ауа беру қысымы теріс қысым болып табылады. Осылайша, сүзгіні ауыстырған кезде таза бөлмеге шаң енбейді. Тәжірибелер FFU жүйесінің ауа шығысының біркелкілігі, ауа ағынының параллелизмі және желдету тиімділігі индексі тұрғысынан осьтік ағынды желдеткіш жүйесінен жоғары екенін көрсетті. Себебі FFU жүйесінің ауа ағынының параллелизмі жақсырақ. FFU жүйесін пайдалану таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыруды жақсарта алады.
(3) FFU өз құрылымының әсері
FFU негізінен желдеткіштерден, сүзгілерден, ауа ағынының бағыттаушыларынан және басқа да компоненттерден тұрады. HEPA сүзгісі бөлменің тазалығының дизайн бойынша талап етілетін тазалыққа қол жеткізуінің ең маңызды кепілі болып табылады. Сүзгінің материалы ағын өрісінің біркелкілігіне де әсер етеді. Сүзгі шығысына кедір-бұдыр сүзгі материалы немесе ағын пластинасы қосылған кезде, шығыс ағын өрісін оңай біркелкі етуге болады.
2. Әртүрлі тазалықпен жылдамдық интерфейсінің әсері
Сол таза бөлмеде, тік бір бағытты ағыны бар жұмыс аймағы мен жұмыс істемейтін аймақ арасында, HEPA қорабындағы ауа жылдамдығының айырмашылығына байланысты, интерфейсте аралас құйын әсері пайда болады және бұл интерфейс турбулентті ауа ағыны аймағына айналады. Ауа турбуленттілігінің қарқындылығы әсіресе күшті, бөлшектер жабдық машинасының бетіне өтіп, жабдық пен пластиналарды ластауы мүмкін.
3. Қызметкерлер мен жабдықтарға әсері
Таза бөлме бос болған кезде, бөлмедегі ауа ағынының сипаттамалары әдетте жобалау талаптарына сәйкес келеді. Жабдықтар таза бөлмеге кіргеннен кейін, адамдар қозғалғаннан кейін және өнімдер тасымалданғаннан кейін, ауа ағынын ұйымдастыруға кедергілер туындайды, мысалы, жабдық машинасынан шығып тұрған өткір ұштар. Бұрыштарда немесе шеттерде газ турбулентті ағын аймағын қалыптастыру үшін бұрылады, ал аймақтағы сұйықтық кіретін газбен оңай алып кетпейді, осылайша ластануға әкеледі.
Сонымен қатар, механикалық жабдықтың беті үздіксіз жұмыс істеу салдарынан қызады, ал температура градиенті машинаның жанында қайта ағызу аймағын тудырады, бұл қайта ағызу аймағында бөлшектердің жиналуын арттырады. Сонымен қатар, жоғары температура бөлшектердің оңай шығып кетуіне әкеледі. Қос әсер жалпы тік қабатты күшейтеді. Ағынның тазалығын бақылаудың қиындығы. Таза бөлмедегі операторлардың шаңы осы қайта ағызу аймақтарындағы пластиналарға оңай жабысып қалуы мүмкін.
4. Қайтарылатын ауа еденінің әсері
Еден арқылы өтетін қайтарылатын ауаның кедергісі әртүрлі болған кезде, қысым айырмашылығы пайда болады, бұл ауаның кіші кедергі бағытында ағып кетуіне әкеледі және біркелкі ауа ағыны алынбайды. Қазіргі кездегі танымал жобалау әдісі - биік еденді пайдалану. Биік еденнің ашылу коэффициенті 10% болғанда, ауа ағынының жылдамдығын үй ішіндегі жұмыс биіктігінде біркелкі бөлуге болады. Сонымен қатар, едендегі ластану көзін азайту үшін тазалау жұмыстарына қатаң назар аудару қажет.
5. Индукция құбылысы
Индукция құбылысы деп аталатын құбылыс біркелкі ағынға қарама-қарсы бағытта ауа ағынын тудыру құбылысын білдіреді, бұл бөлмеде немесе желге қарсы жаққа жақын ластанған жерлерде шаңның пайда болуын тудырады, осылайша шаңның пластинаны ластауына әкеледі. Мүмкін болатын индукцияланған құбылыстарға мыналар жатады:
(1) Соқыр тақтайша
Тік бір жақты ағыны бар таза бөлмеде, қабырғадағы қосылыстарға байланысты, әдетте, турбулентті ағын мен жергілікті кері ағынды тудыратын үлкен жалюзи панельдер болады.
(2) Шамдар
Таза бөлмедегі жарықтандыру құрылғыларының әсері көбірек болады. Флуоресцентті шамның қызуы ауа ағынының жоғарылауына әкелетіндіктен, флуоресцентті шам турбулентті аймаққа айналмайды. Әдетте, таза бөлмедегі шамдар ауа ағынын ұйымдастыруға шамдардың әсерін азайту үшін тамшы тәрізді етіп жасалған.
(3) Қабырғалар арасындағы саңылаулар
Бөлме қабырғалары немесе төбелер арасында әртүрлі тазалық талаптары бар саңылаулар болған кезде, тазалық талаптары төмен аймақтардан шаң тазалық талаптары жоғары көршілес аймақтарға ауысуы мүмкін.
(4) Механикалық жабдық пен еден немесе қабырға арасындағы қашықтық
Егер механикалық жабдық пен еден немесе қабырға арасындағы саңылау аз болса, кері турбуленттілік пайда болады. Сондықтан, жабдық пен қабырға арасында саңылау қалдырыңыз және жерге тікелей тиіп кетпес үшін машина платформасын көтеріңіз.
Жарияланған уақыты: 2023 жылғы 2 қараша