Чип өндіру өнеркәсібіндегі чип шығымы чипке түсетін ауа бөлшектерінің мөлшері мен санымен тығыз байланысты.Ауа ағынын жақсы ұйымдастыру шаң көздерінен пайда болатын бөлшектерді таза бөлмеден алып, таза бөлменің тазалығын қамтамасыз ете алады.Яғни, таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыру чип өндірісінің шығымдылығында маңызды рөл атқарады.Таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыруды жобалау кезінде қол жеткізілетін мақсаттар: зиянды бөлшектердің сақталуын болдырмау үшін ағын өрісіндегі құйынды токтарды азайту немесе жою;айқас ластануды болдырмау үшін тиісті оң қысым градиентін сақтау.
Таза бөлме принципі бойынша бөлшектерге әсер ететін күштерге массалық күш, молекулалық күш, бөлшектер арасындағы тартылыс, ауа ағынының күші және т.б.
Ауа ағынының күші: жеткізу және қайтару ауа ағыны, термиялық конвекциялық ауа ағыны, жасанды араластыру және бөлшектерді тасымалдау үшін белгілі бір ағын жылдамдығы бар басқа ауа ағындарынан туындаған ауа ағынының күшін білдіреді.Таза бөлменің қоршаған орта технологиясын басқару үшін ауа ағынының күші ең маңызды фактор болып табылады.
Тәжірибе көрсеткендей, ауа ағынының қозғалысында бөлшектер ауа ағынын шамамен бірдей жылдамдықпен ұстайды.Ауадағы бөлшектердің жағдайы ауа ағынының таралуымен анықталады.Ауа ағынының үй-жай бөлшектеріне негізгі әсерлеріне мыналар жатады: ауамен қамтамасыз ететін ауа ағыны (соның ішінде бастапқы ауа ағыны және қайталама ауа ағыны), ауа ағыны және адамдардың жүруінен туындаған жылу конвекциялық ауа ағыны және ауа ағынының технологиялық операциялар мен өнеркәсіптік жабдықтың әсерінен болатын бөлшектерге әсері.Таза бөлмелердегі ауаны берудің әртүрлі әдістері, жылдамдық интерфейстері, операторлар мен өндірістік жабдықтар, индукциялық құбылыстар және т.б. тазалық деңгейіне әсер ететін факторлар болып табылады.
1. Ауаны беру әдісінің әсері
(1) Ауа беру жылдамдығы
Біркелкі ауа ағынын қамтамасыз ету үшін бір бағытты ағынды таза бөлмеде ауа беру жылдамдығы біркелкі болуы керек;ауа беру бетіндегі өлі аймақ аз болуы керек;және гепа сүзгісінің ішіндегі қысымның төмендеуі де біркелкі болуы керек.
Ауаны беру жылдамдығы біркелкі: яғни ауа ағынының біркелкі еместігі ±20% шегінде бақыланады.
Ауа беру бетінде өлі кеңістік азырақ: гепа жақтауының жазықтық аймағын азайту ғана емес, одан да маңыздысы артық жақтауды жеңілдету үшін модульдік FFU пайдалану керек.
Ауа ағынының тік және бір бағытты болуын қамтамасыз ету үшін сүзгінің қысымның төмендеуін таңдау да өте маңызды және сүзгі ішіндегі қысымның жоғалуын ығыстыруға болмайды.
(2) FFU жүйесі мен осьтік ағынды желдеткіш жүйесі арасындағы салыстыру
FFU - желдеткіші және гепа сүзгісі бар ауа беру құрылғысы.Ауа FFU орталықтан тепкіш желдеткішпен сорылады және динамикалық қысымды ауа құбырындағы статикалық қысымға айналдырады.Ол гепа сүзгісі арқылы біркелкі үрленеді.Төбеге ауа беру қысымы теріс қысым болып табылады.Осылайша, сүзгіні ауыстырған кезде таза бөлмеге шаң ағып кетпейді.Тәжірибе көрсеткендей, FFU жүйесі ауа шығарудың біркелкілігі, ауа ағынының параллельдігі және желдету тиімділігі индексі бойынша осьтік ағынды желдеткіш жүйесінен жоғары.Себебі FFU жүйесінің ауа ағынының параллелизмі жақсырақ.FFU жүйесін пайдалану таза бөлмедегі ауа ағынын ұйымдастыруды жақсартуға мүмкіндік береді.
(3) FFU-ның өзіндік құрылымының әсері
FFU негізінен желдеткіштерден, сүзгілерден, ауа ағынының бағыттаушыларынан және басқа компоненттерден тұрады.Гепа сүзгісі дизайн талап ететін қажетті тазалыққа қол жеткізу үшін таза бөлменің ең маңызды кепілі болып табылады.Сүзгі материалы ағын өрісінің біркелкілігіне де әсер етеді.Сүзгі шығысына дөрекі сүзгі материалы немесе ағын тақтасы қосылғанда, шығыс ағынының өрісін оңай біркелкі етуге болады.
2. Түрлі тазалықпен жылдамдық интерфейсінің әсері
Сол таза бөлмеде тік бір бағытты ағыны бар жұмыс аймағы мен жұмыс істемейтін аймақ арасында гепа қорабындағы ауа жылдамдығының айырмашылығына байланысты интерфейсте аралас құйынды эффект пайда болады және бұл интерфейс турбулентті болады. ауа ағыны аймағы.Ауа турбуленттігінің интенсивтілігі ерекше күшті және бөлшектер жабдық машинасының бетіне өтіп, жабдықты және пластиналарды ластауы мүмкін.
3. Персонал мен құрал-жабдыққа әсер ету
Таза бөлме бос болғанда, бөлмедегі ауа ағынының сипаттамалары әдетте дизайн талаптарына сәйкес келеді.Жабдық таза бөлмеге кіргеннен кейін, адамдар қозғалып, өнімдер тасымалданғанда, ауа ағынын ұйымдастыруға міндетті түрде кедергілер болады, мысалы, жабдық машинасынан шығатын өткір нүктелер.Бұрыштарда немесе шеттерде газ турбулентті ағын аймағын қалыптастыру үшін бұрылады, ал аймақтағы сұйықтық түсетін газбен оңай тасымалданбайды, осылайша ластануды тудырады.
Бұл кезде механикалық жабдықтың беті үздіксіз жұмыс істеуге байланысты қызады, ал температура градиенті машинаның жанында қайта ағу аймағын тудырады, бұл қайта ағу аймағында бөлшектердің жиналуын арттырады.Сонымен қатар, жоғары температура бөлшектердің оңай кетуіне әкеледі.Қос әсер жалпы тік қабатты күшейтеді.Ағынның тазалығын бақылаудың қиындығы.Таза бөлмедегі операторлардың шаңы осы қайта ағызылатын аумақтардағы пластинкаларға оңай жабысып қалуы мүмкін.
4. Қайтару ауа қабатының әсері
Еден арқылы өтетін кері ауаның кедергісі әртүрлі болған кезде қысым айырмашылығы пайда болады, бұл ауаның аз қарсылық бағытында ағып кетуіне әкеледі және біркелкі ауа ағыны алынбайды.Қазіргі танымал дизайн әдісі - көтерілген еденді пайдалану.Көтерілген еденнің ашылу коэффициенті 10% болғанда, ауа ағынының жылдамдығы ішкі жұмыс биіктігінде біркелкі таралуы мүмкін.Сонымен қатар, едендегі ластану көзін азайту үшін тазалау жұмыстарына қатаң назар аудару керек.
5. Индукция құбылысы
Индукция деп аталатын құбылыс біркелкі ағынға қарама-қарсы бағытта ауа ағынын тудыру, бөлмеде пайда болған шаңды немесе көрші ластанған аумақтардағы шаңды желдің қарсы жағына индукциялау, осылайша шаңның пластинаны ластау құбылысын білдіреді.Ықтимал индукциялық құбылыстарға мыналар жатады:
(1) Соқыр тақта
Тік бір жақты ағыны бар таза бөлмеде қабырғадағы буындарға байланысты, әдетте, турбулентті ағынды және жергілікті кері ағынды тудыратын үлкен соқыр панельдер бар.
(2) Шамдар
Таза бөлмедегі жарықтандыру құрылғылары көбірек әсер етеді.Флуоресцентті шамның қызуы ауа ағынының көтерілуіне әкелетіндіктен, флуоресцентті шам турбулентті аймаққа айналмайды.Әдетте таза бөлмедегі шамдар ауа ағынын ұйымдастыруға шамдардың әсерін азайту үшін тамшы түрінде жасалған.
(3) Қабырғалар арасындағы бос орындар
Әртүрлі тазалық талаптары бар аралық қабырғалар немесе төбелер арасында бос орындар болған кезде, тазалық талаптары төмен аумақтардағы шаң тазалық талаптары жоғары көршілес аумақтарға тасымалдана алады.
(4) Механикалық жабдық пен еден немесе қабырға арасындағы қашықтық
Механикалық жабдық пен еден немесе қабырға арасындағы алшақтық аз болса, кері серпіліс пайда болады.Сондықтан жабдық пен қабырға арасында бос орын қалдырыңыз және жерге тікелей тиіп кетпеу үшін машина платформасын көтеріңіз.
Жіберу уақыты: 02 қараша 2023 ж